Moin Leute,
es geht um eine Vakuumpumpe die ich gern zum leerpumpen einer kleinen Prozesskammer zum Magnetronsputtern verwenden würde . Ich benutzte zuerst eine günstige Pumpe die es auf 5Pa Druck herunter bringt .
Kurz um keine Chanse. Funktioniert nicht damit . 2 stück in Reihe ( Eine erzeugt ein Vorvakuum für die andere Baugleiche ) sehr sehr geringer Erfolg . Wie viel Pa dabei herauskamen weiß ich nicht aber der Druck wurde jedenfalls geringer . Das Plasma veränderte sich noch einmal weiter ins Positive. Aber es reite nicht aus.
Ich benötige ein noch geringeren Druck um da Erfolg zu haben . Nun habe ich eine bezahlbare Vakuumpumpe gefunden die angeblich das oben genannte Vakuum erzeugen kann ,aber wie viel ist es in Pa ? Was ein Pa ist davon habe ich die genaue Vorstellung aber was bedeutet 3x10 hoch minus 1 Pa? Etwa 3x 0,0000000001 also 0,0000000003 Pa?
Ich kann mir kaum vorstellen dass eine 150 Euro günstige Drehschieberpumpe ein so herforagendes Ultrahochvakuum erzeugen kann. Auch nicht wenn sie 2 stufig ist .
Ich muss hir etwas überhaupt nicht verstanden haben . Deshalb frage ich nach .
Würde mich freuen wenn mir da jemand helfen kann ...
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