Zunächst wäre wichtig zu wissen, wie und wo der Holzfußboden aufgebaut ist.
Auf einer Balkenlage über Grund oder direkt mit Lattung auf einer Sperre gegen Bodenfeuchtigkeit? Da Du nichts über den jetzigen Zustand schreibst, kann man sich das schlecht vorstellen und einen Rat abgeben.
Unterbeton würde nur dann Sinn machen, wenn anschließend ein schwimmender Estrich aufgebaut werden soll. Dann aber auch nur, wenn der Untergrund "nackter" Mutterboden ist.
Selbstverständlich könnte man das auch umgehen, indem man eine Styropordämmung verlegt, Randstreifen anlegt und dann direkt den schwimmenden Estrich mit entprechender, leichter Bewährung armiert. Die Dicke des Estrich sollte dann mindestens 5 cm betragen.
Schreib mal etwas mehr zum jetzigen Zustand.