Bei modernen IC und Mikroprozessoren bezeichnet die Angabe der Nanometer inzwischen nur noch die mikrostrukturellen Abmessungen der einzelnen Funktionsbauteile wie Transisoren innerhalb des Chips .

Die Leiterbahnen und Isolationsschichten lassen sich innerhalb des Chips in den derzeitigen Desingns aber nicht beliebig verkleinern , da es sonst zu unverhältnismäßig hoher Elektronenmigration und atomarer Abwanderung aus den feinen Strukturen in quantenähnlichen Effekten kommt .

Auch die Abwärme muß letztlich irgendwie ausreichend aus dem Chip ( DIE ) abgeleitet werden können , womit auch der Packdichte der Bauteile im Substrat gewisse Grenzen gesetzt sind .

Die nächste Stufe markanter Strukturverkleinerungen ( insgesamt ) dürfte m.E. daher eher einen kompletten Technologieumbruch Richtung Quantenprozessor als Ablösung der bisherigen Technologien nötig machen , weil es dann schon Richtung einzelner Atome geht .

Zum groben Richtwert könnte man hier mal betrachten , daß 10 Kupferatome nebeneinander etwa 1,2 bis 1,3 Nanometern entsprechen würden , und bei reinem Silicium wären es etwa 1,1 bis 1,2 nm .