chemische Reaktion beim Ätzen von Siliziumnitrid mit heisser Phosphorsäure?
Auch wenn ich mich als Chemiker präsentiere, habe ich absolut nichts zu diesem Thema gefunden: Warum löst sich Siliziumnitrid in heisser Phosphorsäure auf, und was passiert da genau, chemisch gesehen? Ich weiss nur, dass es von der Wasserkonzentration und natürlich auch von der Temperatur abhängt.
Chemie