Wenn es dein erstes Mal ist, würde ich dir sehr ans Herz legen, nicht direkt mit einer eigenen Kampagne zu starten. Das mag zwar sehr verlockend sein, insbesondere wenn einem das kreative Erstellen von Szenarien Spaß macht, allerdings ist es gut, erst einmal etwas Erfahrung zu sammeln, bevor man sich an etwas komplett eigenes wagt.
Um beim konkreten System DnD5e zu bleiben: Von Wizards gibt es diverse Startersets, die sich nicht nur an neue Spieler richten, sondern auch Abenteuer enthalten, die speziell dafür entwickelt wurden, einem neuen SL zu helfen, gut durch das Szenario zu führen und das Spiel aus der moderativen Sicht kennenzulernen.
Das Abenteuer Die verlorene Mine von Phandelver gibt es bspw. direkt kostenfrei zum Download (siehe Weblinks im WP-Artikel). Hierbei handelt es sich um eine kurze Kampagne (2–4 Sessions), die auch viele Tipps für den SL enthält und so das Kennenlernen des Spiels für alle Beteiligten ideal macht.
https://de.wikipedia.org/wiki/Die_verlorene_Mine_von_Phandelver
Ansonsten ist Kommunikation noch ganz wichtig. Sofern du bisher keine Session Zero mit deinen Spielern gemacht hast, solltest du das nachholen. Hierbei spricht man darüber, was den einzelnen Personen Spaß macht (bspw. Rollenspiel, Action, Rätsel, Horror, Kämpfe, ...), welche Themen für sie kritisch sind (bspw. PvP, Missbrauch, Rassismus, ...) und was sie sich allgemein vom Spiel erhoffen. Ich verlinke dir hier gerne nochmal ein Formular als Vorlage; dieses ist eigentlich nicht für DnD5e gedacht, aber das spielt im Grunde keine Rolle.
https://sta.bcholmes.org/tools/safety
Neben einer Session Zero kann es auch hilfreich sein, einzelne Sessions nachzubesprechen. Du kannst bspw. jeden Spieler nach der Session bitten, dir eine Sache zu nennen, die ihm gut gefallen hat und eine Sache, die er sich fürs nächste Mal wünschen würde.
Ansonsten: Macht dir nicht zu viele Gedanken über einzelne Plots, die die SC eventuell gar nicht erleben werden. Verschaffe dir einen Überblick über die grobe Handlung und wichtige NSC, lass den Rest aber im Zweifel einfach auf dich zukommen. Ein guter SL muss improvisieren können – vergiss nicht, letztendlich erzählst du eine Geschichte, aber die SC gestalten diese durch ihre Handlungen mit. Wenn etwas anders läuft als geplant, ist das nicht schlimm, solange alle dabei Spaß haben. Hilfreich sind hierfür z. B. auch Würfeltabellen, um schnell zufällige Dinge bestimmen zu können, wie etwa Namen, Orte, Angebote von Händlern, etc. Viele nützliche Tools gibt es bspw. bei donjon und RoleGenerator.
https://donjon.bin.sh/
https://www.rolegenerator.com/
Überlege dir, wie genau du das Abenteuer erzählen willst und wie du am besten deine Spieler in dieses integrierst. Versuche möglichst nicht, irgendwelche Meta-Vorschriften zu machen („nein, das geht nicht“) sondern überlege dir, wenn die SC irgendetwas dummes machen wollen, passende Konsequenzen.
Um es für deine Spieler spannender zu machen, kannst du natürlich auch mit Handouts arbeiten (bei DnD5e nicht unbedingt relevant, aber insbesondere bei Systemen für CoC ein echter Gamechanger), Minis einsetzen oder – sofern mit Theatre of Mind gearbeitet werden soll – Bilder zum aktuellen Handlungsort vorlegen, Musik und Soundeffekte nutzen (siehe bspw. https://tabletopaudio.com/soundpad.html), usw. Deiner Kreativität sind letztendlich keine Grenzen gesetzt!
LG